薄膜外延生长的计算机模拟(4)

薄膜生长计算机模拟

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由图!可以看出，在各种入射率下成核率随衬底温度的变化都有一个极大值"而且入射率越小出现极大值时对应的衬底温度越低"我们把这时对应的温度!#称为最大成核温度"当衬底温度较低时，在各种入射率下的成核密度基本相同"这主要是原子的扩散能力较弱，沉积在衬底上的原子基本上都停留在初始下落时的晶位上"入射率越小每一步的扩散时间相对越长，这样就容易形成岛核"所以成核密度出现极大值的衬底温度就越低"当衬底温度较高时，入射率越小成核密度越大"这是由于沉积在衬底上的原子扩散能力较强，入射率越小每一步的扩散时间相对越长，原子可以充分扩散、合并形成少数几个大核"相反，入射率越大每一步的扩散时间相对越短，原子来不及充分扩散，只能就近聚集形成较多的小岛核

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