5-铁电体电滞回线的测定 - 副本(5)

（5）溅射后，关闭电源开关，关闭针阀（注意：针阀旋钮顺时针拧到底后再反向拧两圈），并用溅射头上的放气阀对工作室内放气。

（6）按上述步骤镀完电极后，利用电滞回线测量仪其预设的程序可很方便地测出铁电薄膜的电滞回线及疲劳保持曲线。自行设计所加电场E的幅度。

2．电滞回线测量仪操作步骤

（1）打开计算机，进入电滞回线测量程序。

（2）在样品室的样品台上平稳的放上铁电体样品，使样品与两个电极充分接触。注意样品放入时要轻放，以免把样品夹碎。

（3）打开测量主机前面板上的电源开关。

（4）打开样品盒上的红色按钮，此时样品盒中的红色或者绿色指示灯亮。不测量时，关闭该开关（可以不关闭主机电源），以减少仪器发热。

（5）从小到大，逐步调节极化电压，同时观察测量得到的测量曲线，直到满意。从测量曲线上得到等参数。

（6）测量完成后，保存图像的文本文件。

（7）数据处理时，输入样品的面积、厚度，填写测量曲线上对应的“自发极化强度Ps”、“剩余极化强度Pr”、“矫顽电场Ec”等电压数据（也可以采用数据发送方式），软件可以计算出样品的有关数据。

五、实验数据与处理

1．通过铁电薄膜的电滞回线测量得到薄膜的永久极化Pr、矫顽场Ec，漏电流Ik。

2．通过强铁电陶瓷的电滞回线测量得到其永久极化Pr、矫顽场Ec，漏电流Ik。

3．观察疲劳保持性能。

4．观察高介电陶瓷的电滞回线，并记录。

六、注意事项

1．安装样品时，把极化电压调到最小，或关闭样品盒电压。

2．打开样品盒时，样品台上的红色指示灯应该熄灭，否则不要触摸电极。

3．更换、安装、取下样品时，以及关机后，电极不要直接短路。

4．测量时，样品盒必须关闭，样品可能会发出一些噪音，正常现象。

5．刚开始测量时，由于样品没有充分极化，曲线可能不队称。在较高电压下持续一会，情况会有变化。