SAP003-14M(14A-13C)电浆设备_操作手册V_1.0(14)

【REMOTE 控制：錯誤重置電漿訊號輸入】*註 2Pin4：啟動 Reset 電漿。SAP003 Pin17USER +24VPin4 Fig3.2 Example： Pin=0Vdc，Plasma Reset On。 Pin=+24Vdc，Plasma Reset Off。 *註 2：Plasma Reset 時必須先解除 Plasma On(Pin3)的輸出。Plasma Reset___________【REMOTE 控制：外部控制模式開啟訊號輸出】*註 3Pin5： Remote Ready 的輸出訊號。SAP003 Pin16USER 0VPin5Remote ReadyExample： Pin=0Vdc，Remote Control Mode。 Pin=+24Vdc，Local Control Mode。Fig3.3*註 3：User 使用外部控制時，務必檢查是否為[Remote Control Mode]，再進行 Remote On 的指令，若為[Local Control Mode]務必解除 Remote On(Pin3)。 ___________Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 13 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24