Micro-VU三次元操作指引
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受控文件印章（红色方为有效）
容易使影像不清晰且影响测定精度；如果有污物的情形，请用无尘布轻轻擦拭。6.2. 仪器本体表面：若沾上油垢或灰尘时，用柔软的干布进行擦拭。
6.3. 载物台：放置工件时请注意不要伤及玻璃面，若沾上油垢或灰尘，用无尘纸轻轻擦拭。7. 相关文件
《Inspec 操作手册》
《Inspec各窗口功能及功能键》见附件
8. 相关记录
《Micro-VU 光学测量仪日常点检表》
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