文档分类
FEMAG晶体生长仿真软件介绍(Chinese_Version)
设计工程
保温罩和反射体的形状、材质和位置设计
加热器的位置
辅助加热器 / 多加热器设计 保温层的选择及其设计
质量控制工程
热应力 位错
氧含量分布与控制 掺杂物发布与控制 缺陷控制 ( 点缺陷和微观缺陷等 )
能耗 气耗
原料辅料 (成本、使用寿命等等)
提高晶体生长速度的同时防止固-液界面变形过大和裂纹
成本控制工程
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