FEMAG晶体生长仿真软件介绍(Chinese_Version)
应用范围
FEMAGSoft 公司的模拟软件应用于开发、优化以下类型的晶体生长工艺： IC 级单晶硅和光伏级晶体硅
III-V 族化合物半导体晶体材料，如 GaAs/GaP 等 锗单晶
蓝宝石、氧化物和卤化物 碳化硅
FEMAG-CZ 光伏级单晶生长炉内温度场计算结果可视 化呈现。
FEMAG-DSS 精确的固液界面计算是对晶粒大小控制的 基础与前提
FEMAG-FZ
IC 级区熔法单晶硅锭内部温度预测结 果。
FEMAG-VB
VB 法砷化镓单晶生长过程的精确计算结果
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