太阳能级直拉硅单晶圆棒质量要求(4)

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晶体中由于原子错配引起的具有伯格斯矢量的一种线缺陷。 3.5

位错密度

单位体积内位错线的总长度（cm/cm3）。通常以晶体某晶面单位面积上位错蚀坑的数目来表示。 4 产品分类

直拉单晶硅圆棒根据规格一般分为6英寸圆棒和8英寸圆棒。 5 技术要求

5.1 直径及允许范围（见表1）

表1 硅单晶圆棒的直径及允许范围

5.2 其他参数要求（见表2）

表2 硅单晶圆棒相关参数要求

6 检验方法

6.1 直拉单晶硅圆棒的外型尺寸及允许偏差按GB/T 1214.1进行。